Product製品情報
Panasonic CONNECT / パナソニックコネクトプラズマクリーナー PSX307
プラズマ洗浄・改質でモノづくりを高品質化
自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様の選択が可能で、多様な生産形態に応えます。
【主な特長】
1. 均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
2. 独自の昇降ユニットが多様な基板形態に対応
3. 異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
© YKT CORPORATION
プラズマ洗浄・改質でモノづくりを高品質化
自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様の選択が可能で、多様な生産形態に応えます。
【主な特長】
1. 均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
2. 独自の昇降ユニットが多様な基板形態に対応
3. 異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
