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製品情報

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スイス

プラティット社

 [スイス]
PLATIT - SWITZERLAND
プラティット社 合金ターゲット不要、皮膜をソフトウェアで制御
πシリーズ

回転円筒カソード式PVDコーティング炉 π111/411ECO/411TURBO/411SCIL/411LACS/1511

PVD Coating System With Rotating Cathodes - π111/411ECO/411TURBO/411SCIL/411LACS/1511
部品 金型 工具 医療部品製造

【主な特長】
1.合金材料開発のノウハウ不要。用途に適した皮膜の組成を実現
2.アークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着が可能
3.DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度

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  • π111
    - カソード最高2式
    - プラズマ領域 φ355x460mm
    - 最大荷重 100kg

  •                           
  • π411
    - カソード最高4式
    - プラズマ領域 φ500x460mm
    - 最大荷重 200kg

  •                           
  • π1511
    - カソード最高5式
    - プラズマ領域 φ700x750mm
    - 最大荷重 400kg


■回転円筒カソードで市場の動向に短納期に対応

「TiAlN(50/50%)」「AlTiN(55/45%)」「AlTiN(65/35%)」TiとAlの純金属が生成する異なる組成の皮膜コーティング。回転円筒カソードであれば、新たに合金材料を開発しなくとも、用途に応じた皮膜をソフトウェアで最適化します。

■アークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着

回転円筒カソードであれば、通常不可能とされているアークとスパッタの同時蒸着が可能です。ホウ素の組成比制御により、皮膜硬度を上げながら内部応力の緩和を実現します。小径工具、仕上げ工具やリーマの刃先への確実な蒸着、ドリル向けのAlTiN/BNの厚膜、高速加工向けAlCrN/BN、高硬度材向け中間層AlCrN/BN+表層TiSiNの蒸着が可能です。汎用的なTiAlN、AlCrNのアークイオンプレーティングで生じるドロップレットは平滑性に優れるスパッタとアークの同時蒸着が改善します。

■DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度

アークイオンプレーティングを基にプラズマCVD、酸化物、スパッタリングの複合プロセスが可能です。それぞれの長所を組み合わせた皮膜をコーティングし、平滑性に優れるプラズマアシストスパッタTiNやCrTiNにDLCの蒸着が可能です。

■オープンソースによるノウハウ提供でコーティングの内製化に貢献

プラティットは委託コーティング事業を持たないPVDコーティング炉の専門メーカーです。コーティングに加え洗浄、表面処理、除膜、品質管理等の最新ノウハウを惜しみなくターンキーで提案します。

機械仕様

機種 π111 π411ECO π411TURBO π411SCIL π411LACS π1511
円転円筒カソード
プレート型カソード
搭載数 ドア側2本 ドア側3本 ドア側3本+炉内1本 ドア側3本+炉内2枚
被処理物 炉内サイズ 450×460×615mm 650×670×675mm 1,000×1,000×1,100mm
プラズマ領域 φ355×460mm φ500×460mm φ700×750mm
最大荷重 100kg 200kg 400kg
工具搭載本数 エンドミル
φ10×L70mm
288本 504本 1,056本
ホブ
φ80×L180mm
20本 28本 48本
インサート
内接円20×厚さ6mm
1,680個 2,940個 6,600個
可能なコーティング アークイオンプレーティング
プラズマCVD -
酸化物 - -
アーク・スパッタ個別 - - - -
アーク・スパッタ同時 - - - - -
処理時間(連続) エンドミルφ10×L70mm、AlTiN 2μm
3重回転治具
4-5時間 5-6時間 4-5時間 5-6時間 5-6時間 7.5時間
コーティング種類 アークイオン
プレーティング
TiN
TiCN -
TiAlN -
AlTiN
CrN -
CrTiN -
ZrN -
AlCrN
AlTiCrN -
AlCrTiN(ALL4) -
AlTiSi系(nACo)
AlCrSi系(nACRo)
TiSi系(TiXCo3)
AlCrB系(BorAC) -
AlCr酸化系(nACoX) - -
アーク+DLC(PECVD) CrN+DLC(a-C:H:Si) -
CrTiN+DLC(a-C:H:Si) - -
スパッタ TiN - - - -
CrTiN - - - -
TiB2 - - - -
スパッタ+DLC(PECVD) TiN+DLC(a-C:H:Si) - - - -
CrTiN+DLC(a-C:H:Si) - - - -
アーク+スパッタ AlCrN - - - - -
AlCrB系(BorAC) - - - - -
AlTiCrSiB系(BorAX) - - - - -
Cr+ta-C/a-C - - - - -
サイズ及び
ユーティリティ
サイズ(mm) L1,890×D1,500
×H2,120
L2,720×D1,721×H2,149 L4,882×D2,181
×H3,354
電源 3×400V
50/60Hz、30kVA
3×400V、50/60Hz、76kVA 3×400V
50/60Hz、100kVA

仕様は予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。

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