コーティングの内製化を導くプラティット社 ターンキーシステム
最適な被膜のチューンアップが被膜寿命を向上させます。
プラティット社は委託コーティング事業をもたないPVDコーティング炉専門メーカーです。
コーティングに加え洗浄、表面処理、脱膜、品質管理のノウハウをターンキーで提案します。特許取得済み回転円筒カソードの採用により、純金属材料を利用しプログラムによる組成比制御が可能です。密着性に富む密着層、靭性を重視した中間層、硬度の高い表層、最表層には潤滑、または熱絶縁層の展開が可能です。
■オープンソースによるノウハウの提供がコーティングの内製化に貢献
プラティット社は委託コーティング事業をもたないPVDコーティング炉専門メーカーです。コーティングに加え洗浄、表面処理、脱膜、品質管理のノウハウをターンキーで提案します。
■合金材料に依存されない回転円筒カソードによる被膜の最適化
Ti、Al、Crなどの純金属材料を利用し、プログラムによる組成比制御が可能です。金属材料を変更することなく、下記コーティングを処理します。
TiAlN(50/50%), AlTiN(55/45%), AlCrN(60/40%),
AlCrN(70/30%), AlTiCrN(50/35/15%)
■用途に応じたトリプル、クワトロコーティングが被膜寿命を改善
回転円筒カソードにより、密着性に富む密着層、靭性を重視した中間層、硬度の高い表層、潤滑、又は熱絶縁層の展開が可能です。 最適な被膜のチューンアップが寿命を向上させます。
■アーク及びスパッタ窒化被膜、DLC、酸化系被膜にも対応する高い自由度
低摩擦系コーティング用には、密着性に優れる窒化被膜上にPE-CVDによる安定したDLC成膜が可能です。また、インサート乾式粗加工では耐熱性に優れる酸化系被膜のコーティングも効果的です。イオンプレーティングの置き換えとしてスパッタTiN、TiCNがタップメーカーに浸透しています。一台のコーティング炉でアーク及びスパッタ窒化膜、DLC、酸化系被膜に対応します。
機械仕様
| 311ECO | 411ECO | 311 | 411 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 回転円筒カソード | 同時稼働数 本 | 3 | 3 | 4 | |
| 搭載数 本 | ドア側3 | ドア側3＋炉内1 | ドア側3＋炉内1 | ||
| コーティング時間(連続)* | AlTiN 2μm | 6.0時間 | 4.5時間 | 4.0時間 | |
| AlTiCrN 2μm | 5.5時間 | 4.0時間 | 3.5時間 | ||
| コーティング種類 | アーク窒化系被膜 | TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN, CrTiN, ZrN, AlCrN3（AlCr系3層膜） AlTiCrN3（AlTiCr系3層膜） nACo2（AlTi/Si系2層膜） nACo3（AlTi/Si系3層膜） nACRo2（AlCr/Si系2層膜） nACRo4ECO( AlCrSi系4層膜) TiXCo3(TiSi系3層膜) ALL4ECO(AlCrTi系4層膜) |
TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN, CrTiN,, ZrN, AlCrN3, AlTiCrN3, nACo3, nACRo4ECO, TiXCo3, ALL4ECO nACRo3(AlCr/Si系3層膜) |
TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, AlCrN, CrN, CrTiN, ZrN, AlCrN3, ALL4 (AlCrTi系4層膜) nACo4（AlTi/Si系4層膜） nACRo4(AlCr/Si系4層膜) TiXCo4(TiSi系4層膜) |
|
| アーク+DLC | CROMVIc®2 (CrN + DLC), CROMTIVIc®2( CrTiN + DLC), nACVIc®2 = nACRo® + DLC | ||||
| 酸化系被膜 | - | nACoX4(AlCrO系4層膜) | |||
| スパッタ | - | TiN, TiCN, TiB2, | |||
| スパッタ + DLC | - | TiN+DLC, TiCN+DLC | |||
| アーク + スパッタ | - | AlCrN/BN, AlTiN/BN TiN/BN, TiWN, TiCN/WCC |
|||
| 炉内サイズ | プラズマ領域 mm | φ485×440 | φ500x460 | φ485×440 | φ500x460 |
| 工具搭載本数 | エンドミルφ10×70mm : 504本, ホブφ60×80mm : 56本, インサートφ20× 6mm : 2940個 | ||||
| 最大基板荷重 kg | 150 | 200 | 150 | 200 | |
| 設置サイズ | L x D x H mm | 2,350x1,660x2,300 | 2,720x1,721x2,225 | 2,350x1,660x2,300 | 2,720x1,721x2,225 |
| 重量 kg | 2,100 | 2,650 | 2,100 | 2,650 | |
*エンドミルφ10×70mm : 504本、3重回転
