合金ターゲット不要、皮膜をソフトウェアで制御
π111
- カソード最高2式
- プラズマ領域 φ355x460mm
- 最大荷重 100kg
π411
- カソード最高4式
- プラズマ領域 φ500x460mm
- 最大荷重 200kg
π1511
- カソード最高5式
- プラズマ領域 φ700x750mm
- 最大荷重 400kg
■回転円筒カソードで市場の動向に短納期に対応
「TiAlN(50/50%)」「AlTiN(55/45%)」「AlTiN(65/35%)」TiとAlの純金属が生成する異なる組成の皮膜コーティング。回転円筒カソードであれば、新たに合金材料を開発しなくとも、用途に応じた皮膜をソフトウェアで最適化します。
■アークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着
回転円筒カソードであれば、通常不可能とされているアークとスパッタの同時蒸着が可能です。ホウ素の組成比制御により、皮膜硬度を上げながら内部応力の緩和を実現します。小径工具、仕上げ工具やリーマの刃先への確実な蒸着、ドリル向けのAlTiN/BNの厚膜、高速加工向けAlCrN/BN、高硬度材向け中間層AlCrN/BN+表層TiSiNの蒸着が可能です。汎用的なTiAlN、AlCrNのアークイオンプレーティングで生じるドロップレットは平滑性に優れるスパッタとアークの同時蒸着が改善します。
■DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度
アークイオンプレーティングを基にプラズマCVD、酸化物、スパッタリングの複合プロセスが可能です。それぞれの長所を組み合わせた皮膜をコーティングし、平滑性に優れるプラズマアシストスパッタTiNやCrTiNにDLCの蒸着が可能です。
■オープンソースによるノウハウ提供でコーティングの内製化に貢献
プラティットは委託コーティング事業を持たないPVDコーティング炉の専門メーカーです。コーティングに加え洗浄、表面処理、除膜、品質管理等の最新ノウハウを惜しみなくターンキーで提案します。
機械仕様
| 機種 | π111 | π411ECO | π411TURBO | π411SCIL | π411LACS | π1511 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 円転円筒カソード プレート型カソード |
搭載数 | ドア側2本 | ドア側3本 | ドア側3本+炉内1本 | ドア側3本+炉内2枚 | |||
| 被処理物 | 炉内サイズ | 450×460×615mm | 650×670×675mm | 1,000×1,000×1,100mm | ||||
| プラズマ領域 | φ355×460mm | φ500×460mm | φ700×750mm | |||||
| 最大荷重 | 100kg | 200kg | 400kg | |||||
| 工具搭載本数 | エンドミル φ10×L70mm |
288本 | 504本 | 1,056本 | ||||
| ホブ φ80×L180mm |
20本 | 28本 | 48本 | |||||
| インサート 内接円20×厚さ6mm |
1,680個 | 2,940個 | 6,600個 | |||||
| 可能なコーティング | アークイオンプレーティング | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| プラズマCVD | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| 酸化物 | - | - | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| アーク・スパッタ個別 | - | - | - | 〇 | 〇 | - | ||
| アーク・スパッタ同時 | - | - | - | - | 〇 | - | ||
| 処理時間(連続) | エンドミルφ10×L70mm、AlTiN 2μm 3重回転治具 |
4-5時間 | 5-6時間 | 4-5時間 | 5-6時間 | 5-6時間 | 7.5時間 | |
| コーティング種類 | アークイオン プレーティング |
TiN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| TiCN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| TiAlN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| AlTiN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| CrN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| CrTiN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| ZrN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| AlCrN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| AlTiCrN | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| AlCrTiN(ALL4) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| AlTiSi系(nACo) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| AlCrSi系(nACRo) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| TiSi系(TiXCo3) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| AlCrB系(BorAC) | - | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| AlCr酸化系(nACoX) | - | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| アーク+DLC(PECVD) | CrN+DLC(a-C:H:Si) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | |
| CrTiN+DLC(a-C:H:Si) | - | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||
| スパッタ | TiN | - | - | - | 〇 | 〇 | - | |
| CrTiN | - | - | - | 〇 | 〇 | - | ||
| TiB2 | - | - | - | 〇 | 〇 | - | ||
| スパッタ+DLC(PECVD) | TiN+DLC(a-C:H:Si) | - | - | - | 〇 | 〇 | - | |
| CrTiN+DLC(a-C:H:Si) | - | - | - | 〇 | 〇 | - | ||
| アーク＋スパッタ | AlCrN | - | - | - | - | 〇 | - | |
| AlCrB系(BorAC) | - | - | - | - | 〇 | - | ||
| AlTiCrSiB系(BorAX) | - | - | - | - | 〇 | - | ||
| Cr+ta-C/a-C | - | - | - | - | 〇 | - | ||
| サイズ及び ユーティリティ |
サイズ(mm) | L1,890×D1,500 ×H2,120 |
L2,720×D1,721×H2,149 | L4,882×D2,181 ×H3,354 |
||||
| 電源 | 3×400V 50/60Hz、30kVA |
3×400V、50/60Hz、76kVA | 3×400V 50/60Hz、100kVA |
|||||
仕様は予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。
