YKT株式会社

製品情報

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スイス

スコテック社

 [スイス]
Sucotec - SWITZERLAND
スコテック社 減圧CVD炉でTiAlNを実現
国内外の主要インサート大手工具メーカーが導入
減圧CVDコーティング炉 SCTシリーズ

減圧CVDコーティング炉 SCTシリーズ

Low Pressure CVD System - SCT
金型 工具

【主な特長】
1.優れたコーティング炉能力
     リアクター温度分布±2℃(850~1020℃)、MT-TiCN/Al2O3 15μmで膜厚分布±1.5μm以下を保証。
2.中温度域コーティングの拡張性
     アンモニアを利用し、コーティング温度を下げることで基板の靭性への効果があり、さらにTiAlN、
     TiAlCNのコーティングの可能性が生まれます。
3.減圧CVDによるTiAl系被膜が生む驚異的な工具寿命
     アルミ組成比を高めながらも高硬度構造を維持することによる耐酸化性に優れさらにミーリングにも
     適した圧縮応力をもつ膜であることから、断続切削における用途も見込まれます。

PDFカタログ(約106KB)


SCTシリーズ
拡大写真

2007年2月創業、後発CVDコーティング炉メーカーでありながら、スイス、ドイツ、オーストリア、ルクセンブルク、スウェーデン、アメリカ、中国、韓国、日本などの世界的な市場で販売実績を残しています。
「価格より、性能のために」を方針として、コーティング炉の製造開発に尽力し、インサート業界をリードするユーザーに選択され、将来的なコーティングのための炉として高い評価を得ています。

中温度域コーティングの可能性の拡張

工具向け減圧CVDコーティングはTiN、TiCN、κ/α-Al2O3が一般的ですが、SCTシリーズの場合、炭化、窒化、ホウ化、シリサイド、酸化、及びこれらの組合せが可能です。特に注目されるのは、これまで取り扱いが難しいとされていたアンモニアを利用し、中温度域のCVDコーティングの拡張性を高めていることです。コーティング温度を下げることにより、基板の靭性によい効果があるとともに、今まで困難とされてきたTiAlN、TiAlCNのコーティングの可能性を高めます。

図
Fine-grained MT-TiCN

減圧CVDによるTiAl系被膜の驚異的な工具寿命

Al要素をコーティング膜に添加することで、耐酸化性が向上することがPVDコーティングにおいて実証されています。ただし、高硬度構造である立方晶構造の含有率はAlが70%未満までとされています。下記データの減圧CVDによるTiAl系被膜は90%以上のアルミ組成比でありながら、立方晶を維持しています。また、ミーリングにも適した圧縮応力膜であることから断続切削においても展開される可能性が高まります。アルミ組成比を高めながらも高硬度構造を維持することにより、これまで以上に耐酸化性に優れる成膜が可能になり、PVD TiAlNと比較しても2倍以上の工具寿命検証されました。


図

機械仕様


■標準コーティング

TiC, TiN, TiCN, MT-TiCN, κ/α-Al2O3


■成膜可能なコーティング (Ti, Zr, Hf, Al, Siの場合)


炭化系被膜 TiC, ZrC, HfC
窒化系被膜 TiN, ZrN, HfN
窒化炭素系被膜 TiCN, ZrCN, HfCN
中温度域-CVD被膜 MT-Ti(CN), MT-ZrCN, TiAlN, TiAlCN
酸窒化炭素系被膜 TiCNO, TiAlCNO
ホウ化系被膜 TiBN, TiBCN, TiB2
シリサイド系被膜 TiSiN, TiSiCN
酸化系被膜 κ/α Al2O3, ZrO2

■オプションモジュール

BCl3モジュール、NH3モジュール、SiCl4モジュール
高温度クロリネーターモジュール


■減圧CVD炉SCTシリーズ

  400S 400H 500S 500H 600S 600H
リアクター外径 (mm) 360 460 560
利用可能高さ (mm) 725 925 725 925 725 925
利用可能容積 (l) 40 60 65 92 90 130
搭載数 *インサート/バッチ 5,000 8,000 12,000 15,000 20,000
トレイ数 (リング25 mm) 31 40 31 40 31 40
最大温度 1100°C
プロセス温度 900~1050°C
中温度域プロセス温度 700~900°C
プロセス圧力 50~900 mbar

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